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カスタム機

NPB-200  全自動高速LEDチッププローバー
NVI-211A  ウェハー・チップ外観検査装置

※詳しい内容は「製品ガイド」をご覧ください ⇒


NPB-200
  NPB-200
全自動高速LEDチッププローバー  

 NPB-200は、ダイシングされたLEDチップ(素子)を光学・電気特性検査をする装置です。測定はもちろん、ウェハーの交換も自動で行います。独自の測定方式を採用して、生産効率を大幅に向上させることに成功し、サイクルタイムは最速0.07秒/個を実現しました。

[製品の主な特徴]
・サイクルタイム0.07sec(測定時間除く)を実現。
・最大3ステージによる多彩な測定が可能。
・プローブユニットのセッティングが容易で、画像による位置調整が可能。

 仕様
対象部品サイズ □0.15〜2.0mm ※サイズ違い共用は別途相談
サイクルタイム
 / XYピッチ
    70msec  80msec  90msec  100msec
 / 200μm  300μm  400μm  500μm
リングサイズ 6,8inchウェハー用リング (ex:DFT2-8-1)
プローブホルダー 最大 4セット
プローブ圧 2〜10g
CCD視野範囲 3.6×4.8mm ※製品サイズ等により変更
CCD解像度 1,296×966pixel ※製品サイズ等により変更
照明 リング照明 (シーケンス制御)
マッピングデータ CSV形式
電源 AC220V  5A
供給エアー 0.5MPa
外形寸法 W890×H1,470×D930mm

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  NVI-211A
ウェハー・チップ外観検査装置  

 NVI-211Aは、ウェハー上のチップの外観検査を行う装置です。
独自の測定方式(統計差分検査方式)を採用し、検査時間の短縮を実現しました。当社のプローバー、ソーターのラインに乗せれば、プローバーのデータを読み込み外観検査結果も生産に反映させることが可能です。

[製品の主な特徴]
・独自のアルゴリズムを開発。(統計差分検査方式)
・オートフォーカスカメラを採用。

 仕様
サイクルタイム Max 0.075秒/個  最良条件
リングサイズ 8inchウェハー用のリング (ex:DFT2-8-1)
位置決め精度 XY:±7.7μm Z:±4μm θ:±0.0036°
分解能 0.1μm
画素構成 2448×2058画素カメラ 製品サイズによる
カメラ分解能 1.73μm/画素 (倍率2倍時) 製品サイズによる
検査方式 統計差分検査方式
電源 AC200V 10A
供給エアー 0.5MPa
外形寸法 W890×H1470×D930mm

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※掲載製品の仕様は予告なく変更することがあります。
※掲載写真は、撮影や印刷の関係で実物の色と異なる場合がありますので、ご了承ください。
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